目前市場上提供的商品掃描電鏡分為兩類：場發(fā)射掃面掉進（FEG SEM）和常規(guī)掃描電鏡（ConventionalSEM，簡稱（C SEM）。

場發(fā)射掃描電鏡

場發(fā)射掃描電鏡屬于高分辨型電鏡，使用場發(fā)射槍，如同也一個2000W特種電源，亮度高，可以照明樣品各個部位的細節(jié)，電子束斑直徑不小于1nm。能把樣品1nm尺度的細節(jié)成像，可以真正實現(xiàn)低加速電壓下工作。提供的高分辨率圖像可以與同樣放大倍率下的透射電鏡圖像進行對比。現(xiàn)代FEG SEM克服了早期電子源不穩(wěn)定和使用麻煩的缺點，場發(fā)射電子槍參數(shù)一經(jīng)設(shè)定后，全部由計算機控制，使用是只需要選定加速電壓就可以操作，幾十調(diào)10萬倍圖案，也是輕而易舉的事情。為此電鏡廠家在電子槍的選用、透鏡像差校正、信號探測和高真空系統(tǒng)等方面進行了精心設(shè)計和制造，追求分辨率的提高，由此可見，分辨率值使反應(yīng)電鏡綜合性能的唯一指標。FEG SEM目前已經(jīng)大量應(yīng)用于半導(dǎo)體、電腦、材料等領(lǐng)域。

常規(guī)掃描電鏡

常規(guī)掃描電鏡使用熱電子槍，與場外發(fā)射槍相比，相當10W白熾燈，亮度有限，束斑直徑較大。兩種電鏡分辨相差不大，但想要獲得一張3NM分辨率的圖像，不是任何一個人是可以實現(xiàn)的，這已經(jīng)是目前的極限值。至于放大倍率可達到300kx，則沒有任何實際意義，因為束斑直徑明顯大于該倍率下的像元值，分辨率受到束斑直徑的限制，但是對于大量的常規(guī)檢測，這種電鏡因其價格便宜，適用性強，維護費用低而不可或缺

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