從1980年發表第一篇關于電感耦合等離子體質譜儀（inductively coupled plasma mass spectrometry，ICP-MS）的里程性文章至今已經有30年。1983年地臺商品化ICP-MS面試，迄今該儀器在環境科學、地球科學、生命科學、材料科學、食品科學、石油工業、海洋科學等領域得到了廣泛的應用，其檢測技術也有了長足的發展。目前，在這些領域的應用大約占了ICP-MS應用的80%以上，已成為公認的最強有力的元素分析技術。

  傳統的元素分析方法，包括分光光度法、原子吸收光譜法、原子熒光光譜法、電感耦合等離子體發射光譜法等，這些方法都各有優點，但也有其局限性。例如，或是樣品前處理復雜，需萃取、濃縮富集或抑制干擾；或是不能進行多組分或多元素同時測定，耗時費力；或是儀器的檢測限或靈敏度達不到指標要去等。

  相比于其他痕量金屬元素分析技術，ICP-MS有其獨特的優勢。其以獨特的接口技術兼ICP-MS的高溫（7000k）電離特性與四級桿質譜計的靈敏快速掃描有點相結合，從而形成一種新型的元素和同位素分析技術。這一技術，幾乎可以分析地球上所有的元素。ICP-MS技術的分析能力不僅可以取代傳統的無機分析技術如AAS/AFS和ICP-AES技術進行半定量、定量分析及同位素比值的準確測量等，還可以與其他技術如色譜、毛細管電泳等聯用進行元素的形態、分布特性等分析。

  ICP-MS技術使在克服了傳統方式中的大多數缺點后發展起來的更加完善的元素分析，被認為是當代分析技術的一次重大發展。這一技術已成為當今痕量元素分析、同位素分析、元素形態分析的最強有力的武器。